雙級旋片真空泵是如何工作的，工作原理其實很簡單。
瀏覽次數(shù)：5018發(fā)布日期：2020-03-27
旋片真空泵，螺桿真空泵廠家介紹過它的原理，也介紹過普通旋片與干式旋片的一些差異。今天我們要再了解下其中的雙級旋片真空泵是如何工作的。
普通的旋片真空泵有單雙級之分，一般單級的工作真空(非極限真空)介于大氣壓到50Pa之間，而雙級的工作真空(非極限真空)一般在大氣壓到5Pa之間。《容積式真空泵知多少——旋片式真空泵》中，螺桿真空泵廠家介紹了基本的原理。而雙級旋片真空泵的運作可以簡單地理解為將兩個單級泵串聯(lián)起來：
雙級旋片真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)；一般流程中被抽氣體由進氣口進入高真空級，經(jīng)過高真空級壓縮后再經(jīng)通道進入到低真空級再度進行壓縮；但在抽氣剛開始時，一般情況下真空室的壓力本身較高，被抽氣體經(jīng)過高真空級壓縮后因增幅過大會早早達到排氣壓力，此時壓縮氣體會由輔助排氣閥排出一部分，另外一部分繼續(xù)進入低真空級進行壓縮排放；抽到一定程度后，進氣壓力變小，這時經(jīng)過高真空級壓縮后的氣體壓力會低于輔助排氣閥的開啟壓力，這時輔助排氣閥就會關(guān)閉，氣體會全部經(jīng)通道進入低真空級壓縮后排出。
另外，關(guān)于輔助排氣閥這個設(shè)置，也不是所有的雙級旋片真空泵都會有。一些小型的雙級旋片真空泵可能將高低真空腔做成等腔結(jié)構(gòu)，這個時候就不需要輔助排氣閥。
雙級旋片真空泵的主要運作原理也就是這些了，是不是了解了呢？
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